Uit het Fonds Nieuwe Chemische Innovaties zijn vijf ‘Technology Area’ (TA) premies toegekend aan universitaire projecten met bedrijven. NWO CW draagt 3,5 miljoen euro bij en het bedrijfsleven 1,7 miljoen euro. Andries Meijerink (UU), Lucas Visscher (VU) en André ten Elshof (UT) krijgen 1,7 miljoen euro uit het fonds voor nieuwe materialen die gevoelig zijn voor extreem ultraviolette straling. Zij werken samen met ASML dat de helft van het programma financiert.